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净化工程的温度和湿度主要根据您的加工工艺要求来决定。在满足加工工艺的条件下,应以人的舒适性为主要选择。随着净化工程空气洁净度要求的提高,过程中对温度和湿度的要求越来越高,达到一定的温度和湿度等。例如,在---集成电路生产的光刻---工艺中,要求作为掩膜材料的玻璃和硅片的热膨胀系数之差越来越小。

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